SPLEAD Magnetron Sputter Sources
UHVマグネトロンスパッタ源1
| 型番 | 価格(税別) | 個数 | 見積依頼 |
|---|---|---|---|
| UHVマグネトロンスパッタ源 | ¥1,250,000 |
- デポジションレートが速い
- メタルシールにより超高真空対応
- ターゲットサイズφ2インチ
（3インチ有）
取り付けフランジ：ICF152
ターゲットサイズ：φ2インチ
ターゲットの厚み：非磁性材3mm/磁性材1mm以下（Fe）
最大出力：300W(RF/DC）
冷却方法：水冷式
ベーキング：150℃
コネクタ：N型
カスタマイズ可
オプションシャッター有
カスタマイズ可