SPLEAD Magnetron Sputter Sources
UHVマグネトロンスパッタ源2
| 型番 | 価格(税別) | 個数 | 見積依頼 |
|---|---|---|---|
| UHVマグネトロン スパッタ源 参考価格（マウントなし） |
¥1,400,000 |
- シャッター付マグネトロンスパッタ源
- 強力なスパッタによりデポジションレートが速い
- ターゲットサイズφ2インチ
（1インチ〜4インチ有）
取付フランジ：ICF114〜選択可
メタルシール
ターゲットサイズ：φ2インチ
ターゲットの厚み：非磁性材3mm/磁性材1mm以下（Fe）
最大出力：300W(RF/DC）
冷却方法：水冷式 ベーキング：150℃
コネクタN型
カスタマイズ可