SPLEAD Magnetron Sputter Sources

• ほとんどの電子ビーム源に使用可能です
• 99のスイープを記憶

コイル電源出力：55Amps
最大コイル周波数：200Hz
インターフェイス：Digital I/O
電源入力：115V 50/60Hz （3A）
外形寸法：216x318x133.4mm
重量：5kg