SPLEAD Linear / Rotary Motions
UHVトランスファーロッド（マグネット式）
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| 型番 | 価格(税別) | 個数 | 見積依頼 |
|---|---|---|---|
| ICF70-500L | ¥260,000 | ||
| ICF70-750L | ¥280,000 | ||
| ICF70-1000L | ¥300,000 |
- ロードロック室および試料のハンドリング
- 試料交換用
- ベーキングが可能です
SUS304
ベーク温度：150℃
マグネット式
トルク：0.5Nm
回転ゲージ：360°/1回転
リーク量：2×10-11Pa
ストローク：300mm〜1000mm
※オプションでシャフト先端仕様変更可
オプション:
回転ストッパー機構 ¥18,000