エイコー製
リファイン装置
価格
(税別)
個数
見積依頼
¥3,000,000
基板加熱機構付
排気系ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ
フロントハッチ式
真空計付
仕様相談可能
スパッタ or 抵抗加熱式をえらべます
送料別途