SPLEAD Deposition Monitors & Controllers
膜厚・レートモニター STM-2
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膜厚・レートモニター STM-2
¥158,000
水晶振動子・レートモニター(QCM)PCのUSBポートに直接接続可能(最大8個まで)
オシレーター内蔵
Windows上で動作(ソフトウェア付)データログ可
データはエクセル等に出力しやすいCSVフォーマットで保存されます
ほとんどの市販センサーに接続可能
周波数範囲:0-10s(固定)
周波数分解能:0.03Hz at 6MHz
周波数精度:0.002%
周波数安定度:±2ppm total 0℃以上〜50℃