SPLEAD Deposition Monitors & Controllers

膜厚・レートモニター STM-2

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膜厚・レートモニター STM-2 ¥185,500

センサー種類:シングルQCMセンサー(シャッター制御はできません)
センサー入力数:STM-2×1台に付きセンサー×1台
センサー入力端子:BNCメスコネクタ
使用可能な水晶振動子 :6MHz
周波数分解能:±0.03Hz
測定間隔:0.10s
基準周波数の安定性:±2ppm