TOEL Vacuum Gauge
極高真空計 3B-Gauge 高精度イオンゲージ
X線限界:従来EXゲージの1/40以下
2x10
-10
Pa→5x10
-12
Pa
ESDイオン:偏光角240°透過率93%の
デフレクタで完全に分離除去
中世ESD:PtC-Mo合金グリッド採用で
高温脱ガス、高エミッション電流で排除
実効感度:2.4x10
-4
A/Pa(4mA時)
ガス放出:新材料0.2%BeCu
従来品(SUS)の1/10以下
フランジ:ICF70
AC100V〜240V
※測定子のみも販売しています
価格等詳しくはメールにて
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