TOEL Mass Spectrometers

• 10^-13Pa台のXHVガス分析が可能

質量範囲：100,200,300amu
検出器タイプ：FC/EM
イオン化エネルギー：70eV
フィラメント：Y2O3-Irデュアルフィラメント
感度：1.0x10^-6 A/Pa以上
（100amu FC Sensor）
最小検出速度：1.8msec.
動作温度：200℃（FC）,150℃（EM）
ベーキング温度：最大300℃センサー単体
イオンソース：0.2% BeCu合金（外装Nipメッキ）
通信：TCP/IP イーサネット
ソフトウェア：FabGuard Explorer
Windows XP,7,8.1,10対応