ボディ:SUS304 ベローズ軸シール 真空シール材:バイトンOリング ボンネットシール材:バイトンOリング 使用圧力領域:大気圧〜10-7Pa 許容加熱温度:150℃(バルブ開時) オプション:センサー ※その他のサイズ有