Htc Metal Angle Valves
UHV超高真空アングルバルブ（ボンネットメタル）
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| 型番 |
|---|
| ICF34BPB |
| ICF70BPB |
| ICF114BPB |
| ICF152BPB |
| ICF203BPB |
- 200℃までベーク可能
- メタルシールボンネット
- UHV装置等に使用できます
- 圧空式
- ICF114〜203は複動式
- エアー圧力4〜6kg/cm2
ボディ：SUS304
ベローズシール
真空シール材：バイトンOリング
ボンネットシール材：銅ガスケット
リーク量：6.7×10-11Pa以下
許容加熱温度：200℃（バルブ開時）
フランジ：2面回転
オプション：センサー
