SPLEAD Conductance Contorol Valves
UHV圧力 コントロールバルブ(バタフライ)
クリックで画像切り替え
弁体部が0〜90°可変することにより真空圧力制御を行うスロットルバルブです(バタフライ)
キャパシタレスマノメータと併用する事により半導体等のプロセスにおいて高速応答、高再現性の真空圧力制御
価格等詳しくはメールにて
お問合せ下さい
カスタマイズ可