SPLEAD Conductance Contorol Valves

NW圧力コントロールバルブ（バタフライ）

弁体部が0〜90°可変することにより真空圧力制御を行うスロットルバルブです（バタフライ）
キャパシタレスマノメータと併用する事により半導体等のプロセスにおいて高速応答、高再現性の真空圧力制御

価格等詳しくはメールにて
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カスタマイズ可

テフロンコーティングの真空バルブ
プロセスガスと接触するバルブ内面にテフロン材質塗装