Htc APC Control Valves
UHV超高真空対応 APCコントロールバルブ(ICF)
型番
価格
(税別)
個数
見積依頼
CF35BFV
¥450,000
弁体部が0〜90°可変することにより真空圧力制御を行うスロットルバルブです(バタフライ)
コントローラ搭載型バルブ
スプリード販売品限定のスプリードオリジナルアナログソフト(日本語版)付属
CVD,ALDなど排気コントロールが必要な装置に利用されます
仕様等詳しくはメールにて
お問合せ下さい
フランジ:ICF70
材質:アルミニウム/ステンレス
シール方式:Oリング回転軸シール
使用圧力領域(Pa):1.10
-6
〜0.12M