Htc APC Control Valves

• 弁体部が0〜90°可変することにより
  真空圧力制御を行うスロットルバルブです（バタフライ）
• コントローラ搭載型バルブ
• スプリード販売品限定のスプリードオリジナル
  アナログソフト（日本語版）付属
• CVD,ALDなど排気コントロールが
  必要な装置に利用されます

材質：アルミニウム/ステンレス
シール方式：Oリング回転軸シール
使用圧力領域(Pa)：1.10^-6〜0.12M