Htc UHV Gate Valves (Heating type)
UHV加熱式ゲートバルブ
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2ステージ方式、
弁体にヒーターを内蔵し
デポしにくい構造になっています
バルブ本体200℃ベーク可
駆動部80℃
エアー圧力4〜6kg/cm
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大気と真空を隔離するためのバルブです。
高い機密保持が可能
価格等詳しくはメールにて
お問合せ下さい
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