Htc UHV Gate Valves (Limited Switch)
リミットスイッチ付UHV超高真空ゲートバルブ（圧空）ICF規格
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| 型番 |
|---|
| ICF114GVPL |
| ICF152GVPL |
| ICF203GVPL |
| ICF253GVPL |
- 2重リミットスイッチ
（開閉それぞれの位置に
リミットスイッチ付き） - 安全対策用リミットスイッチ
- 磁性センサーを使用できない所に
使用できます - エアー圧力4〜6kg/cm2
仕様：レバー型リミットスイッチ
コネクタ：D-SUB9pins
5A 24VDC
