Htc UHV Gate Valves
UHV超高真空大口径ゲートバルブ（圧空）ICF規格
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| 型番 |
|---|
| ICF305GVP |
| ICF350GVP |
- 圧空式超高真空対応ゲートバルブです
- エアー圧力4〜6kg/cm2
ボディ：SUS304
使用圧力範囲：1×10-8Pa
メンテナンスサイクル：50,000回
ベークアウト温度：200℃（Open）/150℃（Closed）
べローズ材：AM350
オプション：
電磁弁 ￥20,000
センサー￥16,000
;)
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| 型番 |
|---|
| ICF305GVP |
| ICF350GVP |
ボディ：SUS304
使用圧力範囲：1×10-8Pa
メンテナンスサイクル：50,000回
ベークアウト温度：200℃（Open）/150℃（Closed）
べローズ材：AM350
オプション：
電磁弁 ￥20,000
センサー￥16,000