SPLEAD All Metal Leak Valves
バリアブルリークバルブ（微少ガス流量を安定調整）
| 型番 | 価格 | 個数 | 見積依頼 |
|---|---|---|---|
| ICF70-ICF34 | ¥235,000 |
- スパッタ装置、ガス分析装置など導入ガス流量の
調節を必要とする真空装置に使用するものです - 極めて微少流領域から安定した調節が可能です
- ベーカブル対応
ボディ：SUS304
調整可能最小リーク量：6.7×10-9Pa以下
バルブ全閉時リーク量：6.7×10-11Pa以下
ベーク温度：450℃
導入圧力：1MPa
ガスケット：銅
※ガスケット交換等のアフターも承ります