| 会社名 | 株式会社スプリード | 代表取締役社長 | 菅 徹 |
|---|---|
| 所在地 | 〒206-0801 東京都稲城市大丸422-1 |
| 電話番号 | 042-379-4655 |
| ファックス | 042-379-4656 |
| 武蔵村山テクニカルセンター | 〒208-0023 東京都武蔵村山市伊奈平1-45-7 |
| 設立 | 2005年8月17日 |
| Company name | SPLEAD Corporation |
|---|---|
| President | Toru Suga |
| Address | 422-1 Omaru, Inagi-shi, Tokyo 206-0801 Japan |
| Phone | 042-379-4655 |
| Facsimile | 042-379-4656 |
| Musashi Murayama Technical Center | Inadaiara, Musashimurayama-shi, tokyo |
| Establishment | August 2005 |
2005年 |
8月 | 研究開発装置および各種真空装置の設計・製作 真空コンポーネント、真空機器の販売を主体として設立 |
| 2008年 | 4月 | ALD装置[ALD-M3]開発、販売開始 |
| 2009年 | 1月 | 小型排ガス洗浄装置開発 |
| 2013年 | 5月 | 小型スパッタ装置開発、販売開始 |
| 2014年 | 3月 | リチウム用真空グローブホック開発 |
| 2015年 | 12月 | Htc社 正規日本代理店になる |
| 2016年 | 3月 | Htc社とUHV・HVリークバルブ共同開発、販売開始 |
| 2017年 | 3月 | Htc社製品 アフターサービス認定工場の指定を受ける |
| 2017年 | 9月 | 応用物理学会より学会事業発展への貢献に感謝状を授与される |
| 2018年 | 3月 | 新型コンパチブルALD装置(管状炉+ステンレスチャンバー)開発、販売開始 |
| 2018年 | 7月 | Htc社製、半導体装置向けバルブ販売開始 |
| 2019年 | 3月 | ALD・CVD用ガス供給均一加熱式ユニット開発・販売開始 |
| 2019年 | 12月 | 世界初3チャンバー方式高温用ALD装置開発・販売開始 |
| 2020年 | 3月 | 超高真空焼出炉開発・販売開始 |
| 2020年 | 5月 | 稲城市役所にフェイスシールド寄贈 市長より感謝状を授与される |
| 2021年 | 2月 | 環境マネジメントシステムISO14001認証取得 |
| 2021年 | 3月 | 生産開発向け8インチALD装置開発・販売開始 |
| 2023年 | 4月 | 東北大学と気相成長技術高度化のための共同研究開発をスタート (2025年現在も継続中) |
| 2024年 | 4月 | ALD装置、3チャンバー方式開発、販売開始 |
| 2025年 | 4月 | ALD装置に関する特許出願中 |
| ◎ | MO-ALCVD装置、ALD装置、CVD装置、PLD装置、MBE装置、超真空生装置、スパッタ装置、真空装置、真空ユニット、制御ソフトの設計・製作・装置改造 |
| ◎ | アフターサービス(各種ポンプのオーバーホール・修理、真空計修理など)出張サービス |
| ◎ | エンジニアリング業務では真空装置移設 |
◎ |
真空機器(ポンプ類、計測機器類、他) キャノンアネルバ株式会社 株式会社大阪真空機器製作所 株式会社島津製作所 伯東株式会社(PFEIFFER) VAT株式会社 アジレントテクノロジー株式会社 アルバックテクノ株式会社 大亞真空株式会社 日本エム・ケー・エス株式会社 他、国内外真空機器メーカー |
| ◎ | 日本総代理店 ドイツCrYOVAC社 クライオスタッド |
| ◎ | 正規日本代理店 台湾Htc社(HIGHLIGHT TECH CORP.) 真空部品・メンテナンス日本認定工場 |
| ◎ | 真空コンポーネント(フランジ、クランプ、継手、他) 自社オリジナル製品 |
※民間企業は機密保持のため公開していません。
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| 北海道大学 | 九州大学 | 大阪工業大学 |
| 東北大学 | 日本大学 | 九州工業大学 |
| 東京大学 | 上智大学 | 防衛大学校 |
| 東京工業大学 | 明治大学 | 諏訪東京理科大学 |
| 千葉大学 | 慶応義塾大学 | 長岡技術科学大学 |
| 名古屋大学 | 早稲田大学 | 東京都立大学 |
| 京都大学 | 同志社大学 | その他 国公私立大学 |
| 大阪大学 | 千葉工業大学 | |
| 広島大学 | 名古屋工業大学 |
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の正式なアフターサービス認定工場です
〒206-0801 東京都稲城市大丸422-1