蒸着源 & サンプルステージ

Sputter Source
スパッター・蒸着源
マグネトロンスパッタソース・抵抗加熱蒸発源・EBガン・分子線セル・etc

SPLEAD Magnetron Sputter Sources

HVマグネトロンスパッタ源

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SPLEAD Magnetron Sputter Sources

HV磁性材 マグネトロンスパッタ源

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SPLEAD Magnetron Sputter Sources

UHVマグネトロンスパッタ源1

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SPLEAD Magnetron Sputter Sources

UHVマグネトロンスパッタ源2

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SPLEAD Magnetron Sputter Sources

特注マグネトロンスパッタ源

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SPLEAD Magnetron Sputter Sources

カソード直Ar導入タイプ
UHVマグネトロンスパッタ源

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SPLEAD Thermal Evaporatin Sources

バスケット式抵抗加熱ユニットICF114（1元式）

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SPLEAD Thermal Evaporatin Sources

抵抗加熱蒸発源ユニット

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SPLEAD Thermal Evaporatin Sources

抵抗加熱蒸発源（ボート式／バスケット式）単体

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SPLEAD Thermal Evaporation Sources

多元抵抗加熱蒸発式（3元式）単体

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SPLEAD Thermal Evaporatin Sources

シャッター付抵抗加熱蒸発源（ボート式／バスケット式）単体

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SPLEAD Heater Evaporation

マスク付抵抗加熱蒸発源
（ボート式／バスケット式）

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SPLEAD Thermal Evaporatin Sources

抵抗加熱蒸発源3元式ICF203

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SPLEAD 2ch Controller

2元式抵抗加熱切替ユニット

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SPLEAD Evaporation Source

3kw E-beam蒸着源

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SPLEAD Evaporation Source

10kw E-beam蒸着源

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SPLEAD EB Power Supply

ソリッドステート電源

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SPLEAD Source Controller

XYスイープコントローラー

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VG製

XEBガン用 スイープコイル

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SPLEAD Evaporation Power Supply

抵抗加熱用電源（規格品）

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SPLEAD Cable

パワーケーブル

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SPLEAD K-cell Series

分子線セルSP140S

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SPLEAD K-cell Series

分子線セルSP130S

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SPLEAD K-Cell

リチウム用セルWTL-47

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SPLEAD Parts

真空導入フランジ

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Heater
真空用ヒーター
マイクロセラミックヒーター・Sic基板ヒーター・真空用プレートヒーター・冷却加熱ユニット・etc

SPLEAD Heating & Stages

マイクロセラミックヒーター600℃対応

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SPLEAD Heating & Stages

マイクロセラミックヒーター1000℃対応

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SPLEAD Heating & Stages

高真空用プレートヒーター

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SPLEAD Heating & Stages

マイクロセラミックヒーター（熱電対内蔵型）

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SPLEAD Heating & Stages

ホットプレートヒーター
800℃対応

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SPLEAD Cooling & Stages

ステンレス製水冷プレートSUS

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SPLEAD Cooling & Stages

銅製水冷プレート

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SPLEAD Heating Stages

加熱ヒーターユニット ICF114マウント

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SPLEAD Heating or Cooling & Stages

冷却／加熱ユニット

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SPLEAD Heating Stages

加熱ヒーターユニットICF70マウント

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SPLEAD Heating or Cooling & Stages

アルミ冷却／加熱ユニット

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SPLEAD Heating & Stages

φ33基板ヒーター（Ca）

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Sample Manipulators
サンプルステージ
基板加熱機構・基板回転加熱機構・基板冷却機構

Sample Heater Deposition Stages

プレート式基板加熱機構

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Sample Heater Deposition Stages

Sic基板加熱機構

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Sample Heater Deposition Stages

タングステンヒーター
基板回転加熱機構

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Sample Heater Deposition Stages

グラファイトヒーター機構

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Sample Heater Deposition Stage

バイアス付基板加熱機構

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Sample Heater Deposition Stage

冷却シュラウド付基板加熱機構

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SPLEAD Stages

サンプル受渡ステージ

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SPLEAD Heating & Stages

ヒーターユニット

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SPLEAD Stages

傾斜・回転機構

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SPLEAD Cooling Stages

基板冷却機構

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SPLEAD Stages

基板傾斜機構

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SPLEAD Sample Holder

基板ホルダー

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SPLEAD SampleHoder

試料ホルダー

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SPLEAD Sample Holder

分析用基板ホルダー

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SPLEAD Parts

サンプル用押えピン

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Power Supply
スパッタリング電源 & パワーサプライ
RF高周波電源・DCスパッタ電源・マッチングボックス・etc

SPLEAD RF Power Supplies

100W高周波電源
（手動整合機）

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SPLEAD RF Power Supplies

100W高周波電源
（自動整合機）

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SPLEAD Sputter contorol

RF300Wスパッタ用電源+整合器セット

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SPLEAD RF Power Supplies

RF500Wスパッタ用電源+整合器セット

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SPLEAD RF Generator

RFジェネレーター

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SPLEAD Manual Mat

マニュアルマッチングBOX（手動整合器）

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SPLEAD Matchbox

マッチングBOX自動整合器

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ionautics DC Power Supplies

HiPIMS電源

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PREVAC DC PowerSupplines

多機能スパッタリング電源

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KIKUSUI Power Supplys

直流電源 PWR801ML

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SPLEAD Coaxial Cables & Connctor

RF用同軸ケーブル & N型導入端子製作

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SPLEAD Power and Temperature Contol

小型抵抗加熱用電源EVP50

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SPLEAD K-Cell Power and Temperacure Control

セル用電源CSP35

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SPLEAD Faraday cup Sources

ICF70付ファラデーカップ

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SPLEAD Evaporation Products

スタンダードボート・フィラメント

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