SP200SS 小型RFスパッタ装置 ¥4,000,000〜

実験用薄膜作成用2”小型スパッタ装置です。
各種材料に応じた電源との組み合わせが可能です。
到達圧力 | 2×10-5Pa以下 |
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排気系 | ターボ分子ポンプ 200L/S+ロータリーポンプ |
スパッタ源 | 2インチ・TORUS®スパッタ源 |
電源 | 300WRF電源+手動マッチングボックス |
基板ステージ | 収納基板2インチ |
ガス導入ユニット | 20SCCMマスフローコントローラー
|
オプション
- 基板回転加熱機構 500°C MAX(高温用800°加熱有)
- DCスパッタ電源
- 真空計 フルレンジ真空計
UHV-SP410SS 小型RFスパッタ装置

実験用薄膜作成用2”小型スパッタ装置です。
各種材料に応じた電源との組み合わせが可能です。
到達圧力 | 2×10-5Pa以下 |
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排気系 | ターボ分子ポンプ 200L/S+ロータリーポンプ |
スパッタ源 | 2インチ・TORUS®スパッタ源 |
電源 | 300WRF電源+手動マッチングボックス |
基板ステージ | 収納基板2インチ |
ガス導入ユニット | 20SCCMマスフローコントローラー
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オプション
- 基板回転加熱機構 500°C MAX(高温用800°加熱有)
- DCスパッタ電源
- 真空計 フルレンジ真空計
UHV-420S 3元スパッタ装置 ¥10,000,000〜

実験用薄膜作成用2”小型スパッタ装置です。
各種材料に応じた電源との組み合わせが可能です。
到達圧力 | 2×10-5Pa以下 |
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排気系 | ターボ分子ポンプ 200L/S+ロータリーポンプ |
スパッタ源 | 2インチ・TORUS®スパッタ源 (最大3元取付可能) |
電源 | 300WRF電源+手動マッチングボックス |
基板ステージ | 収納基板2インチ |
ガス導入ユニット | 20SCCMマスフローコントローラー
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オプション
- 基板回転加熱機構 500°C MAX(高温用800°加熱有)
- DCスパッタ電源
- 真空計 フルレンジ真空計
UHV-421S 4元スパッタ装置 ¥21,000,000〜

実験用薄膜形成 多元スパッタ装置です。
各種材料に応じた電源、イオンソースなど汎用性の高い装置です。
FR、DC両方式のマグネトロンスパッタが可能です。
到達圧力 | 1.5×10-6Pa |
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排気系 | 磁気浮上タイプターボ分子ポンプ390L/S+ロータリーポンプ100L/S |
スパッタ源 | 2インチスパッタ源(最大4元取付可能) |
電源 | RF電源+手動マッチングボックス(DC電源選択可) |
基板ステージ | 2インチ基板回転加熱機構 800°C MAX |
収納カセット | x3枚 |
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到達圧力 | 6.6×10-5Pa |
排気系 | ターボ分子ポンプ 50L/S+ロータリーポンプ100L/S |
オプション
- イオンソース
SP300S 小型RFスパッタ装置 ¥25,000,000〜

実験用薄膜作成用2”小型スパッタ装置です。
各種材料に応じた電源との組み合わせが可能です。
到達圧力 | 2×10-5Pa以下 |
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排気系 | ターボ分子ポンプ 200L/S+ロータリーポンプ |
スパッタ源 | 2インチ・TORUS®スパッタ源 |
電源 | 300WRF電源+手動マッチングボックス |
基板ステージ | 収納基板2インチ |
ガス導入ユニット | 20SCCMマスフローコントローラー
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オプション
- 基板回転加熱機構 500°C MAX(高温用800°加熱有)
- DCスパッタ電源
- 真空計 フルレンジ真空計
SP400SS 拡張型UHVスパッタ装置(多元) ¥8,000,000〜

拡張型UHVスパッタ装置(多元)です。
当初はシンプルな単元式スパッタにて成膜を行い実験成果に合わせてロードロック室スパッタ源など追加拡張型の装置です。
到達圧力 | 1.5×10-6Pa |
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排気系 | ターボ分子ポンプ 450L/S+ロータリーポンプ150L/S |
スパッタ源 | 2インチ・TORUS®スパッタ源(最大4元取付可能) |
電源 | 300WRF電源+手動マッチングボックス(DC電源選択可) |
基板ステージ | 2インチ基板回転加熱機構 800°C MAX |
オプション
- ロードロック室(TMP+R.P)
- 排気系(磁気浮上ターボ分子ポンプ)
- イオンソース
- チャンバー加熱ユニット
SP600S UHV多元スパッタ装置 ¥20,000,000〜

実験用薄膜形成 多元スパッタ装置です。
各種材料に応じた電源、イオンソースなど汎用性の高い装置です。
FR、DC両方式のマグネトロンスパッタが可能です。
到達圧力 | 1.5×10-6Pa |
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排気系 | 磁気浮上タイプターボ分子ポンプ390L/S+ロータリーポンプ100L/S |
スパッタ源 | 2インチスパッタ源(最大4元取付可能) |
電源 | RF電源+手動マッチングボックス(DC電源選択可) |
基板ステージ | 2インチ基板回転加熱機構 800°C MAX |
到達圧力 | 6.6×10-5Pa |
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排気系 | ターボ分子ポンプ 50L/S +ロータリーポンプ100L/S |
オプション
- イオンソース
UHV-SP800S UHV多元スパッタ装置 ¥30,000,000〜

実験用薄膜形成 多元スパッタ装置です。
各種材料に応じた電源、イオンソースなど汎用性の高い装置です。
FR、DC両方式のマグネトロンスパッタが可能です。
到達圧力 | 1.5×10-6Pa |
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排気系 | 磁気浮上タイプターボ分子ポンプ 800L/S+ロータリーポンプ100L/S |
スパッタ源 | 2インチスパッタ源(最大4元取付可能) |
電源 | RF電源+手動マッチングボックス(DC電源選択可) |
基板ステージ | 2インチ基板回転加熱機構 800°C MAX |
到達圧力 | 6.6×10-5Pa |
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排気系 | ターボ分子ポンプ 50L/S +ロータリーポンプ100L/S |
オプション
- イオンソース