スプリードは真空機器や研究開発機器の設計・製造・販売をしております
We produce the physics and chemistry equipments and thin film deposition systems
スプリードはHtc社の正式なアフターサービス認定工場です

真空対応の熱光学分析用ホット&コールドステージシステム
ワイドな温度範囲で使用可能です
幅広い研究実験用途に対応しています

 

□ 温度制御ステージ 室温〜300℃
□ 液体窒素冷却（水冷、その他冷媒）
　 冷却〜-140℃

特徴

□ 低温から高温まで広い温度範囲
□ ヒーター内蔵冷却ステージ
□ K熱電対付
□ 観察・計測用ビューイングポート付
□ 予備ポート多数（NW40・NW25）
□ ステージの取外しが簡単

※仕様に合わせてカスタマイズ可能
※バルブ・真空計はオプション
※排気系はオプション

真空対応でALD・CVD等の簡易型ケミカル実験ができます
その他、光学・真空内分析など幅広い用途に使用できます
まずは実験から

 

□ 上部ハッチ式で試料交換が簡単
□ 温度制御ステージ 室温〜300℃
□ 液体窒素冷却（水冷、その他冷媒）
　 冷却〜-140℃
□ 上部ビューポート付で内部観察が可能
□ ステージ試料固定プレート付

特徴

□ K熱電対付
□ 予備ポート付

※仕様に合わせてカスタマイズ可能
※ステージはアルミ仕様も可
※ガス導入系、排気系はオプション

真空中で試料を回転加熱を行いながらプラズマ放電式の管状炉です。

仕様　

放電管	石英パイプガラス
排気系	ロータリーポンプ50L/S
周波数	13.56MHz±1KHz
ヒーター	ハロゲンランプ式
回転機構	ステッピングモーター

真空中で試料を回転加熱を行う管状炉です。

仕様　

加熱炉	石英パイプガラス
排気系	ロータリーポンプ50L/S
回転機構	ステッピングモーター