UHVゲートバルブ手動式／株式会社スプリード

Manual UHV Gate Valve

UHVゲートバルブ手動式

UHV対応ゲートバルブ
一般産業用から研究開発用に最適
超高真空対応の最適・標準バルブです
ポジションインジケーター付でオープン/クローズの確認ができます
クランクハンドル式
ベローズ軸シール、潤滑剤フリーの機構

SPEC

リークレート	5x10^-10mbar.l / s for gasket
使用圧力範囲	1x10^-10〜1000mbar
メンテナンスサイクル	ICF70〜IC152 : 100,000回 ICF203〜ICF253 : 50,000回
ベーキング温度	弁体(OPEN) : 200℃ 弁体(CLOSE) : 150℃ 駆動部 : 圧空式<80℃ , 手動式<200℃
材質	本体・搬送部・ゲート部 : SUS304 ベローズ : AM350
シール材	ボンネット : 銅ガスケットゲート : バイトンOリング
センサー（オプション）	安全対策用近接センサー
オプション	パーフロなどのOリングシール粗引きポート（バイパス）、ベント排気ポートの追加可

SIZE

ICF	Model No.	A	B	C	D	E	F	G	H	L	Port Dia.
114	GVBB-SS-CF63-M	65	68	70	107	143	158	207	160	367	63.7
152	GVBB-SS-CF100-M	69.6	68	70	146	182	222	297	160	457	102
203	GVBB-SS-CF150-M	79	70	78	204	238	306.5	407	183	590	153
253	GVBB-SS-CF200-M	84.4	70	78	245	282	382	506	183	689	200

ガスケット構成：ゲート用及びシール、ボンネット用
ICF	Model No.
114	GB3C411K	Gate Seal x1(Viton) , Bonnrt Seal x1(Copper)
152	GB3E411K	Gate Seal x1(Viton) , Bonnrt Seal x1(Copper)
203	GB3F411K	Gate Seal x1(Viton) , Bonnrt Seal x1(Copper)
253	GB3G411K	Gate Seal x1(Viton) , Bonnrt Seal x1(Copper)

コンダクタンス（l /s）
ICF114	ICF152	ICF203	ICF253
480	1,800	5,400	11,400

※ 2D CADデータはHtc社オフィシャルサイトよりダウンロード出来ます。
※ 3D CADデータが必要な方は（株）スプリードまでご請求ください。

VALVE OPTIONS

Bonnet Seal Copper Gate Seal Viton

スプリードオリジナル
安全対策用近接センサー SPH-M1

手動バルブに取付可能。お問合せ下さい。

お客様ご指定のフランジISO-KF（ポート付、粗引、バイパスベント排気等）のご要望を基に別途お見積致します。