スプリードは真空機器や研究開発機器の設計・製造・販売をしております
We produce the physics and chemistry equipments and thin film deposition systems
スプリードはHtc社の正式なアフターサービス認定工場です

Pneumatic Mini UHV Gate Valve

UHV小型ゲートバルブ圧空式

UHV対応ゲートバルブ
一般産業用から研究開発用に最適
ポジションインジケーター付でオープン/クローズの確認ができます
ベローズ軸シール、潤滑剤フリーの機構
オプションでリミットスイッチを取付可能

SPEC

リークレート	5x10-10mbar.l / s for gasket
使用圧力範囲	1x10-10〜1000mbar
メンテナンス サイクル	CF70〜ICF152 : 100,000回 ICF203〜ICF253 : 50,000回
ベーキング温度	弁体(OPEN) : 200℃ 弁体(CLOSE) : 150℃ 駆動部 : <80℃
材質	本体・搬送部・ゲート部 : SUS304 ベローズ : AM350
シール材	ボンネット : 銅ガスケット ゲート : バイトンOリング
電磁弁（オプション）	DC24V / AC110V ※その他規格有
センサー（オプション）	DC5〜24V 100mA 10W / AC110〜240V 100mA 10W
オプション	パーフロなどのOリングシール 粗引きポート（バイパス）、ベント 排気ポートの追加可

SIZE

ICF	Model No.	A	B	C	D	E	F	G	H	L	Port Dia.	Air
70	GVB-SS-CF35-P	45.4	52	53	63	90	88	119	135	254	37.5	1/8”PT

※ 2D CADデータはHtc社オフィシャルサイトよりダウンロード出来ます。
※ 3D CADデータが必要な方は（株）スプリードまでご請求ください。

VALVE OPTIONS

お客様ご指定のフランジISO-KF（ポート付、粗引、バイパスベント排気等）のご要望を基に別途お見積致します。