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Pneumatic UHV Gate Valve

UHVゲートバルブ圧空式

UHV対応ゲートバルブ
一般産業用から研究開発用に最適
ポジションインジケーター付でオープン/クローズの確認ができます
オプションでリミットスイッチを取付可能

SPEC

リークレート 5x10-10mbar.l / s
使用圧力範囲 1x10-10〜1000mbar
メンテナンス
サイクル		 CF70〜ICF152 : 100,000回
ICF203〜ICF253 : 50,000回
ベーキング温度 OPEN : 200℃
CLOSE: 150℃
材質 本体・搬送部・ゲート部 : SUS304
ベローズ : AM350
シール材 ボンネット : 銅ガスケット
ゲート : バイトンOリング
電磁弁（オプション） DC24V / AC110V ※その他規格有
センサー（オプション） DC5〜24V 100mA 10W /
AC110〜240V 100mA 10W
オプション パーフロなどのOリングシール
粗引きポート（バイパス）、ベント
排気ポートの追加可

SIZE

図面
ICF Model No. A B C D E F G H L Port
Dia.		 Air
114 GVBB-SS-CF63-P 65 68 62 107 143 158 207 155 362 63.7 1/4”PT
152 GVBB-SS-CF100-P 69.6 68 94 146 182 222 297 170 467 102 1/4”PT
203 GVBB-SS-CF150-P 79 70 94 204 238 306.5 407 198  605 153 1/8”PT
253 GVBB-SS-CF200-P 84.4 70 94 245 282 382 506 198 704 200 1/8”PT

注：この表は横幅が広いため、横幅の狭いデバイスで表示した時にページをはみ出る場合があります。

コンダクタンス（l /s）
ICF114 ICF152 ICF203 ICF253
480 1,800 5,400 11,400

※ 2D CADデータはHtc社オフィシャルサイトよりダウンロード出来ます。
※ 3D CADデータが必要な方は（株）スプリードまでご請求ください。

VALVE OPTIONS

Position Sensor JFS02Air Control Solenoid ValvesLimit Switch D-Sub 9pinBonnet Seal Copper Gate Seal Viton

お客様ご指定のフランジISO-KF（ポート付、粗引、バイパスベント排気等）のご要望を基に別途お見積致します

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