スプリードは真空機器や研究開発機器の設計・製造・販売をしております
We produce the physics and chemistry equipments and thin film deposition systems
スプリードはHtc社の正式なアフターサービス認定工場です

3-Position Gate Valve

3位置圧空作動式バルブ

コンダクタンス調整のため
OPEN-CLOSEの中間位置で停止可能

SPEC

リークレート	2x10-9mbar.l / sec for O-ring
使用圧力範囲	1x10-8〜1000mbar
メンテナンス サイクル	ISO63〜ISO200 : 300,000回 ISO250以上 : 50,000回
ベーキング温度	OPEN : 200℃ CLOSE : 150℃
材質	本体・搬送部・ゲート部 : SUS304 ベローズ : AM350
シール材	ボンネット : バイトンOリング ゲート : バイトンOリング
電磁弁（オプション）	DC24V / AC110V ※その他規格有
センサー（オプション）	DC5〜24V 100mA 10W / AC110〜240V 100mA 10W
オプション	パーフロなどのOリングシール 粗引きポート（バイパス）、ベント 排気ポートの追加可

SIZE

ISO	Model No.	A	B	C	D	E	F	G	H	L	Port Dia.
63	GVB3P-SS-ISO63-P	53	68	64	107	128	158	207	192	399	63.7
100	GVB3P-SS-ISO100-P	53.6	68	98	146	170	222	297	215	512	102
160	GVB3P-SS-ISO160-P	67	68	98	204	220	306.5	407	229	636	153
200	GVB3P-SS-ISO200-P	67	70	98	245	267	383	507	239	746	200

注：この表は横幅が広いため、横幅の狭いデバイスで表示した時にページをはみ出る場合があります。

※ 2D CADデータはHtc社オフィシャルサイトよりダウンロード出来ます。
※ 3D CADデータが必要な方は（株）スプリードまでご請求ください。

VALVE OPTIONS