スプリードは真空機器や研究開発機器の設計・製造・販売をしております
We produce the physics and chemistry equipments and thin film deposition systems
スプリードはHtc社の正式なアフターサービス認定工場です

Slit Valve

スリットバルブ

各種プロセスの研究装置
小ロット生産装置から量産装置に使用されます

製品応用例

トランスファーバルブは半導体、光電産業の成膜装置を汎用している

通常トラスファーシステム（transfer system）の間、又はトラスファーシステム（transfer system）とプロセスチャンバー（process chamber）の間など真空保持必要の箇所にロードロックチャンバー(load-lock chamber）

※ 2D CADデータはHtc社オフィシャルサイトよりダウンロード出来ます。
※ 3D CADデータが必要な方は（株）スプリードまでご請求ください。

特徴

• ■ 伝送距離が短い
• ■ 全ての作動部品は大気側にあり、操作時、生成物の微量で半導体クラスに対応可能のバルブ
• ■ 空圧供給中断時、シールロック保持 (Htc特許)
• ■ 低騒音低振動

スリットバルブ装置取付の案例

全自動複数チャンバー装置

製品構造と実物説明