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Slit Valve

スリットバルブ
Rectangular Transfer valve(EP)

半導体装置における
ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバーおよび
トランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との
仕切り弁に適しています
200,300,450mmウェハ用半導体製造装置用

SPEC

ピストシーリング ベローズ
メンテナンスサイクル 1,000,000回
リークレート 弁体：1x10-9 mbar.l /sec
表面処理 電解研磨
ベーキング温度 弁体(OPEN)：<90℃
駆動部：<60℃
使用圧力範囲 1x10-8 mbar〜1.0 bar
駆動モード 圧空式　5〜7 Kg/cm2
標準シール ゲート：バイトンOリング
開/閉センサー DC4-24(V) or AC4-240(V), 50-40mA
電磁弁（オプション） DC24(V),AC24(V),AC110(V),AC220(V)
取付方向 垂直

SIZE

アルミ
Model No. D D1 D2 D3 D4 D5 A B C E H K K1 K2 L M
GRB-A-32222 222 32 311 50 105 61.5 50 310 300 285 49 340 83 28.5 501.5 224
GRB-A-46236 236 46 325 50 112 61.5 50 310 300 285 49 340 83 28.5 508.5 224
GRB-A-50336 336 50 422 50 112 63 60 410 400 385 59 440 83 30 475 250
GRB-A-56496 496 56 540 61 117.5 66 70 570 560 545 69 600 94 33 513.5 272
ステンレス
Model No. D D1 D2 D3 D4 D5 A B C E H K K1 K2 L M
GRB-S-42222 222 32 311 50 105 61.5 50 310 300 285 49 340 83 28.5 501.5 224
GRB-S-46236 236 46 325 50 112 61.5 50 310 300 285 49 340 83 28.5 508.5 224
GRB-S-50336 336 50 422 50 112 63 60 410 400 385 59 440 83 30 475 250
GRB-S-56496 496 56 540 61 117.5 66 70 570 560 545 69 600 94 33 513.5 272

 

注：この表は横幅が広いため、横幅の狭いデバイスで表示した時にページをはみ出る場合があります。

図面

外観寸法:広さの設計は国際規格と同様
A(厚み):18”(70mm),12”(60mm) , 10”(50mm)

※ 2D CADデータはHtc社オフィシャルサイトよりダウンロード出来ます。
※ 3D CADデータが必要な方は（株）スプリードまでご請求ください。

Model No. Body Gate Gate seal Weight
GRB-A-32222 A6061-T6 A6061-T6 Viton 15kg
GRB-A-46236 A6061-T6 A6061-T6 Viton 16kg
GRB-A-50336 A6061-T6 A6061-T6 Viton 21kg
GRB-A-56496 A6061-T6 A6061-T6 Viton 29kg
GRB-S-32222 304S.S A6061-T1 Viton 20kg
GRB-S-46236 304S.S A6061-T1 Viton 22kg
GRB-S-50336 304S.S A6061-T1 Viton 34kg
GRB-S-56496 304S.S A6061-T1 Viton 49kg

 

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