スプリードは真空機器や研究開発機器の設計・製造・販売をしております
We produce the physics and chemistry equipments and thin film deposition systems
スプリードはHtc社の正式なアフターサービス認定工場です

Slit Valve

スリットバルブ
Rectangular Transfer valve（硬質アルマイト）

半導体装置における
ロードロックチャンバーとトランスファーチャンバーおよび
トランスファーチャンバーとプロセスチャンバー間との仕切り弁に適しています
200,300,450mmウェハ用半導体製造装置用

SPEC

ピストシーリング	ベローズ
メンテナンスサイクル	1,000,000回
リークレート	弁体：5x10-6 mbar.l /sec
表面処理	硬質アルマイト処理
ベーキング温度	OPEN（弁体）：<90℃ 駆動部：<60℃
使用圧力範囲	1x10-6 mbar〜1.0 bar
駆動モード	圧空式　5〜7 Kg/cm2
標準シール	ゲート：バイトンOリング
開/閉センサー	DC4-24(V) or AC4-240(V), 50-40mA
電磁弁（オプション）	DC24(V),AC24(V),AC110(V),AC220(V)
取付方向	垂直

SIZE

Model No.	D	D1	D2	D3	D4	D5	A	B	C	E	H	K	K1	K2	L	M
GRB-HA-32222	222	32	311	50	105	61.5	50	310	300	285	49	340	83	28.5	501.5	224
GRB-HA-46236	236	46	325	50	112	61.5	50	310	300	285	49	340	83	28.5	508.5	224
GRB-HA-50336	336	50	422	50	112	63	60	410	400	385	59	440	83	30	475	250
GRB-HA-56496	496	56	540	61	117.5	66	70	570	560	545	69	600	94	33	513.5	282

注：この表は横幅が広いため、横幅の狭いデバイスで表示した時にページをはみ出る場合があります。

外観寸法:広さの設計は国際規格と同様
A(厚み):18”(70mm),12”(60mm) , 10”(50mm)

※ 2D CADデータはHtc社オフィシャルサイトよりダウンロード出来ます。
※ 3D CADデータが必要な方は（株）スプリードまでご請求ください。

Model No.	Body	Gate	Gate seal	Weight
GRB-HA-32222	A6061-T6	A6061-T6	Viton	15kg
GRB-HA-46236	A6061-T6	A6061-T6	Viton	16kg
GRB-HA-50336	A6061-T6	A6061-T6	Viton	21kg
GRB-HA-56496	A6061-T6	A6061-T6	Viton	29kg