振子式高真空バルブ（ニッケルボディ）／株式会社スプリード

Pendulum Valve

振子式高真空バルブ（ニッケルボディ）

排気系ゲートバルブ
真空ポンプとチャンバー間のゲートバルブとして使用されます
安定したシール性能を持ち、シンプルな構造
コンパクトな大型振子式バルブです
半導体製造装置から大型FPD製造装置まで対応

SPEC

材質	ボディ：A6061-T6 ゲート：A6061-T6
リークレート	1x10^-9mbar.l /sec
サイクルライフ	200,000回
ベーキング温度	ボディ：<120℃ 駆動部：<80℃ 電磁弁：<50℃
使用圧力範囲	1x10^-8mbar〜1.2bar
最大差圧△P	2bar
開いている最大差圧△P	<5mbar
圧縮エアー圧力	4〜6kg/cm²
開/閉時間	4/4秒
標準シール	ゲート：バイトンOリングボンネット：バイトンOリング
駆動器	圧空式（電磁弁制御）
重量	ISO200：25kg / ISO250：32kg
取付方向	水平（シリンダアップ）または垂直
オプション	他材質のゲートOリングヒーター

SIZE

ISO	Model No.	A	B	C	D	E	F	G	Port Dia.	O.D.
200	PVSSV-A-ISO200-P	88	189	563	386	415	202	394	200	285
250	PVSSV-A-ISO250-P	100	201	655	475	438	248	467	254	335

	ボルトPCD	ボルトサイズ
ISO200	260	M10×15
ISO250	310	M10×15

※ 2D CADデータはHtc社オフィシャルサイトよりダウンロード出来ます。
※ 3D CADデータが必要な方は（株）スプリードまでご請求ください。

特徴

■ 振動が小さい
■ 耐腐食性
■ 操作過程に発塵量が少ない
■ 他社より大きい耐圧性（Htc特許）
■ 取付け容易で修理時に装置の取り外し不要

中華民国特許申請中 M534899