スプリードは真空機器や研究開発機器の設計・製造・販売をしております
We produce the physics and chemistry equipments and thin film deposition systems
スプリードはHtc社の正式なアフターサービス認定工場です

3-Position Pendulum Valve

3位置圧空作動式バルブ
（硬質アルマイトボディ）

コンダクタンス調整のため
OPEN-CLOSEの中間位置で停止可能

SPEC

材質	ボディ：A6061-T6 ゲート：A6061-T6
リークレート	1x10-5mbar.l /sec
サイクルライフ	200,000回
ベーキング温度	ボディ：<120℃ 駆動部：<80℃ 電磁弁：<50℃
使用圧力範囲	1x10-6mbar〜1.2bar
最大差圧△P	2bar
開いている最大差圧△P	<5mbar
圧縮エアー圧力	4〜6kg/cm2
開/閉時間	4/4秒
標準シール	ゲート：バイトンOリング ボンネット：バイトンOリング
駆動器	圧空式（電磁弁制御）
重量	32kg
取付方向	水平（シリンダアップ）または垂直
オプション	他材質のゲートOリング ヒーター

SIZE

ISO	Model No.	A	B	C	D	E	F	G	Port Dia.	O.D.
250	PVSM-HA-ISO250-P	100	201	655	475	525	248	467	254	335

ボルトPCD	ボルトサイズ
310	M10×15

※ 2D CADデータはHtc社オフィシャルサイトよりダウンロード出来ます。
※ 3D CADデータが必要な方は（株）スプリードまでご請求ください。

エアーシリンダーを経由し真空隔離と真空圧力の制御を実現。
コントローラーの制御でバルブが全開、全閉、第3位置でストップ。
正確な設定位置の制御精度と再現性を有します。