スプリードは真空機器や研究開発機器の設計・製造・販売をしております
We produce the physics and chemistry equipments and thin film deposition systems
スプリードはHtc社の正式なアフターサービス認定工場です

Butterfly Valve Control System

コントローラー搭載型ステッピングモーター駆動式
APC圧力コントロールシステム

CVD、ALDプロセスの排気圧力制御に用いられます
スプリードオリジナルアナログソフト（日本語版）付属
SEMI,FPD,PV,SOLAR,産業分野の圧力制御用バルブ
圧力統合制御、正確に圧力制御、完全隔離、対応時間短
優しいユーザーインターフェース
2台のキャパシタンスゲージが接続でき幅広い圧力制御が可能です

SPEC

材質	本体：SUS304 シャフト：SUS304 プレート：SUS304
メンテナンスサイクル	2,000,000回（圧力制御） 250,000回（全開-全閉）
リークレート	1x10-9mbar.l / s
ベーキング温度	ハウジング : ＜150℃ 駆動部 : ＜60℃
標準シール	バイトンOリング
表面処理	電解研磨
バッテリー	付き
センサー電源	+/-15VDC , 24VDC
センサー数量	2
使用圧力範囲	10-8mbar〜1.2bar

SIZE

フランジ	Model No.	A	B	C	D	E	F	G	H	IxJ	P.C.D
KF40	KF40BFVS4ER	27	57	-	80	282.5	322.5	90	130	-	-
KF50	KF50BFVS4ER	27	57	-	90	288	333	90	130	-	-
ISO63	ISO63BFVS4ER	30	15	21	130	310	375	90	130	M8x4	110
ISO100	ISO100BFVS4ER	30	36	36	165	329	411.5	90	130	M8x8	146
ISO160	ISO160BFVS4ER	40	55.5	55.5	225	359	471.5	90	130	M10x8	200
ICF70	CF35BFVS4ER	30	3.5	3.5	69.5	229	264	90	130	M6x6	58.7

スプリードオリジナル アナログソフト（日本語版）付属

注：この表は横幅が広いため、横幅の狭いデバイスで表示した時にページをはみ出る場合があります。

※ 2D CADデータはHtc社オフィシャルサイトよりダウンロード出来ます。
※ 3D CADデータが必要な方は（株）スプリードまでご請求ください。