スプリードは真空機器や研究開発機器の設計・製造・販売をしております
We produce the physics and chemistry equipments and thin film deposition systems
スプリードはHtc社の正式なアフターサービス認定工場です

UHV Stainless Electropneumatic Angle Valve

UHVステンレスアングルバルブ圧空式

ステンレスボディで高い信頼性と耐久性があります
ベローズ軸仕様で高真空のあらゆるシーンに最適です

SPEC

シール材	バイトンOリング
材質	ボディ：SUS304 ベローズ：AM-350（溶接ベローズ）
ベーキング温度	150℃
リークレート	2x10-9mbar.l /sec
使用圧力範囲	大気〜1x10-9Torr
最大使用差圧	1.2Bar
操作空気圧	4〜6.5kg/cm2
メンテナンスサイクル	CR16〜CR50：500,000回 CR63〜CR150：250,000回
センサー（オプション）	DC5〜24V 100mA 10W  /  AC110〜240V 100mA 10W

SIZE

ICF	Model No.	A	B	C	O.D.	Air
34	AVB-CR16-P	63.5	165.6	56.8	19.1	1/8”PT
70	AVB-CR35-P	62.5	201	75.8	38.1	1/8”PT
114	AVB-CR63-P2	85.7	274.6	99.5	63.5	1/8”PT
152	AVB-CR100-P2	118	356.6	151.6	101.6	1/8”PT
203	AVB-CR150-P2	165.1	438.6	240	152.4	1/8”PT

Pは単動で、P2は複動です、単動はノーマルクローズです

※ 2D CADデータはHtc社オフィシャルサイトよりダウンロード出来ます。
※ 3D CADデータが必要な方は（株）スプリードまでご請求ください。

VALVE OPTIONS