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Gas Valve

ICFガス導入バルブ

リークバルブとして使用可で汎用性の高いガス導入口1/4インチ
チャンバーリーク用途にも使用できます

SPEC

シール材 バイトンOリング
材質 ボディ：SUS304
ベローズ：AM-350（溶接ベローズ）
ベーキング温度 150℃
リークレート 2x10-9mbar.l /sec以下
使用圧力範囲 大気〜1x10-9Torr
手動式 ハンドホイール式
最大使用差圧 1.2Bar
操作空気圧 4〜6.5kg/cm2
メンテナンスサイクル 500,000回

SIZE

図面
ICF Model No. A B C D O.D. Air
70 AVB-CF35-1/4”-M 50.8 138 157.5 56.8 19.05 φ6.35

※ 2D CADデータはHtc社オフィシャルサイトよりダウンロード出来ます。
※ 3D CADデータが必要な方は（株）スプリードまでご請求ください。

 

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