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Large Size Gate Valve for FPD Process Equipment

大型バルブ設計製作

お客様のご仕様に合わせて設計製作いたしますのでご相談ください
FPD製造装置向けとして各世代の基板サイズに対応したバルブを製造します
開口幅400mm〜200mm

特徴

■ パーティクルフリー
Htc独自技術により無摺動で装置内を高度なハイクリーン状態に保ちます

■ 高レベルのシール性
Htc独自技術により、シール保持時間が長く、逆圧シールに対しても安定したシール性能を発揮

■ 長寿命で高品質
シール材としてのベローズは、Htc独自技術により開発したものを搭載しており、100万回のライフサイクルと高い信頼性と安定した品質を提供いたします

特注サイズのスリットバルブ 開口50x1700
50x1700スリットバルブ実物


※ 2D CADデータはHtc社オフィシャルサイトよりダウンロード出来ます。
※ 3D CADデータが必要な方は(株)スプリードまでご請求ください。

 


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