サービス

その他のサービス一覧

各種装置の改造

真空装置のグレードアップを承ります。 ガスラインの追加、ロードロック室の追加、排気速度のアップ、オイルフリー化、基板加熱機構の高温化などさまざまな改造に対応いたします。

メンテナンス・修理・出張サービス

真空ポンプ修理時の洗浄技術をベースにオイルアップ事故後のチャンバー、ユニット等の洗浄、修理やリークなどのトラブルに対応いたします。
また、お客様で対応できないターボ分子ポンプ、バルブなどの交換作業にはベテランの技術者がお伺いいたします。

ラボ機器の処分

研究室の不要品の引取、廃棄作業を承ります。
無償引取からマニュフェスト管理票での処分も対応いたします。

ラボ設備工事

研究室の設備工事を承ります。
・電気設備工事
・排気設備工事
・給排水工事
・ガス設備工事
・特殊ガス配管工事
各種装置にかかわる設備工事に対応できます。

真空焼出処理

・超高真空装置での真空脱ガス処理を承ります。

・低真空での真空脱ガス処理を承ります。

※200℃〜1300℃まで対応
お問い合わせください

ガス分析

超高真空装置でのガス分析を承ります200amu四重極質量分析計にてガスの分析をおこないます。


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